Formal:
* J'attends de vous rencontrer. (I wait to meet you.)
* Je suis impatient de vous rencontrer. (I am impatient to meet you.)
* J'ai hâte de vous rencontrer. (I am looking forward to meeting you.)
Informal:
* J'attends de te rencontrer. (I wait to meet you.)
* J'ai hâte de te rencontrer. (I am looking forward to meeting you.)
* J'ai vraiment envie de te rencontrer. (I really want to meet you.)
More specific:
* Je me réjouis de vous rencontrer. (I am looking forward to meeting you.)
* Je suis impatient de faire votre connaissance. (I am impatient to make your acquaintance.)
The best option will depend on the situation and your relationship with the person you are talking to.